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DS-2000/14G型光刻機

簡(jiǎn)要描述：DS-2000/14G型光刻機該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(cháng)的極紫外光作為光源，用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實(shí)現高均勻照明。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間：2024-06-04
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：1674

詳細介紹

品牌其他品牌價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)微流控芯片系統應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,電子
產(chǎn)品名稱(chēng)：DS-2000/14G型光刻機
主要技術(shù)指標：
單次曝光面積：1.4mm×1mm;
大曝光基片：100mm ×100mm ;
對準精度：±0.8μm（半自動(dòng)對準）;
大膠厚：300μm（SU8膠）;
自動(dòng)逐場(chǎng)對焦；
分辨力：1μm；
X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺 ;
X、Y平移重復定位精度：0.65μm（3σ）;
Z向運動(dòng)精度：1μm。
DS-2000/14G型光刻機技術(shù)特點(diǎn)：
該機可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(cháng)的極紫外光作為光源，用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模板，采用積木 錯位蠅眼透鏡實(shí)現高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統（可同時(shí)使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡(jiǎn)便。


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