系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長(cháng)作為測量基準，利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產(chǎn)權的高精度解析算法，實(shí)現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀(guān)尺寸等各類(lèi)外觀(guān)參數測量結果。

微納結構三維形貌測量?jì)x本產(chǎn)品具有以下特點(diǎn)：
高的測量精度：基于干涉測量原理，測量重復性達到1nm。
大的測量范圍：采用*掃描系統，在保證納米定位精度的同時(shí)，單場(chǎng)掃描范圍可達到10mm，結合白光光源重構方法，可滿(mǎn)足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動(dòng)測量：標配自動(dòng)檢焦功能，結合自動(dòng)調焦裝置，無(wú)需復雜調節過(guò)程，一鍵操作即可完成調焦、檢測全過(guò)程。選配自動(dòng)二維平臺，可自動(dòng)完成大面積三維數據拼接操作
高集成度、安裝簡(jiǎn)便：整機集成為統一整體，僅需外接220v電源，通過(guò)USB3.0 數據傳輸，即可完成數據傳輸與測量
具有高的性?xún)r(jià)比：保證系統性能的同時(shí)，降低制造成本
靈活性高：可根據用戶(hù)需求，對系統進(jìn)行改進(jìn)，滿(mǎn)足工業(yè)不同應用場(chǎng)景需求。